Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測

產(chǎn)品簡介

Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測專屬配置 S neox搭載光譜反射法（SR）模塊，專為薄膜檢測設(shè)計，無需樣品預(yù)處理即可實現(xiàn)非破壞性測量。

產(chǎn)品型號：S neox

更新時間：2026-01-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：190

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

BRUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測

Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測

S neox搭載光譜反射法（SR）模塊，專為薄膜檢測設(shè)計，無需樣品預(yù)處理即可實現(xiàn)非破壞性測量。設(shè)備配備薄膜專用物鏡，能聚焦光線至薄膜表面，配合高靈敏度探測器捕捉干涉光譜。軟件內(nèi)置薄膜分析算法，可自動優(yōu)化層厚度與折射率參數(shù)，直至找到最佳擬合結(jié)果。檢測平臺采用微調(diào)結(jié)構(gòu)，能精準(zhǔn)對準(zhǔn)薄膜樣品的檢測區(qū)域。

二、性能優(yōu)勢：快速精準(zhǔn)的厚度測量

該模塊能測量 10nm 至 20μm 的透明薄膜，厚度分辨率達 0.1nm，橫向分辨率可達 5μm。單次檢測耗時不到 1 秒，適合批量薄膜樣品的快速篩查。支持 1 至 10 層的多層薄膜測量，能清晰區(qū)分各層厚度，滿足復(fù)合薄膜檢測需求。測量數(shù)據(jù)重復(fù)性良好，多次檢測同一位置的偏差可忽略不計。

三、用材與檢測保障

光學(xué)鏡頭針對薄膜檢測的光譜范圍優(yōu)化了鍍膜工藝，在可見光至近紅外波段保持高透光率。探測器選用高靈敏度型號，能捕捉微弱的薄膜干涉信號，減少測量誤差。設(shè)備內(nèi)部采用溫度補償設(shè)計，避免環(huán)境溫度變化影響光譜分析精度，保障檢測穩(wěn)定性。

四、操作流程與應(yīng)用領(lǐng)域

以透明薄膜厚度檢測為例：1. 將薄膜樣品平鋪在檢測平臺上，確保表面無褶皺；2. 打開軟件，選擇 “薄膜檢測" 模塊，設(shè)置單層 / 多層模式；3. 點擊 “掃描"，設(shè)備快速采集干涉光譜并進行分析；4. 1 秒內(nèi)生成厚度數(shù)據(jù)，可導(dǎo)出 Excel 格式存檔。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜、光學(xué)薄膜、醫(yī)用薄膜等領(lǐng)域，可檢測薄膜厚度均勻性、折射率等關(guān)鍵參數(shù)。

五、核心參數(shù)簡表

項目	規(guī)格
檢測技術(shù)	光譜反射法（SR）
薄膜厚度范圍	10nm-20μm
厚度分辨率	0.1nm
橫向分辨率	可達 5μm
檢測速度	＜1 秒 / 次
支持層數(shù)	1-10 層