布魯克三維光學(xué)輪廓儀白光干涉原理

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用材：

ContourX-500的性能基礎(chǔ)在于其采用的白光干涉技術(shù)。理解這一技術(shù)有助于用戶更好地發(fā)揮儀器的潛力。白光干涉，又稱相干掃描干涉術(shù)，利用寬譜白光光源產(chǎn)生的短相干性，通過(guò)垂直掃描樣品，精確地定位并記錄每個(gè)像素點(diǎn)的最大干涉信號(hào)位置，從而重建出整個(gè)表面的三維形貌。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)：
儀器內(nèi)部集成了一個(gè)穩(wěn)定的白光光源，光線通過(guò)分光鏡被分成兩路：一路射向參考鏡，另一路射向被測(cè)樣品。兩路光反射回來(lái)后相遇發(fā)生干涉。干涉信號(hào)被高分辨率的CCD相機(jī)捕獲。儀器核心的壓電陶瓷掃描器帶動(dòng)物鏡或參考鏡進(jìn)行納米級(jí)精度的垂直運(yùn)動(dòng)，在整個(gè)掃描范圍內(nèi)逐層采集干涉圖像。

產(chǎn)品性能：
這種技術(shù)使得ContourX-500能夠適應(yīng)多種表面反射率，從高反光的金屬表面到低反光的黑硅或高分子材料，通過(guò)調(diào)整光強(qiáng)和算法，均能獲得有效的測(cè)量數(shù)據(jù)。其優(yōu)勢(shì)在于大范圍的垂直測(cè)量能力與納米級(jí)垂直分辨率的結(jié)合，使其既能測(cè)量較大的臺(tái)階和形狀，也能分辨出細(xì)微的表面起伏。

使用說(shuō)明：
在軟件操作中，用戶可以根據(jù)樣品特性選擇不同的干涉模式。對(duì)于粗糙表面或有大臺(tái)階的樣品，使用垂直掃描干涉模式；對(duì)于超光滑表面，則可以使用相移干涉模式以獲得更高的垂直分辨率。正確選擇掃描速度和采樣密度，是平衡測(cè)量速度和數(shù)據(jù)質(zhì)量的關(guān)鍵。

參數(shù)表補(bǔ)充：

• 光源： 白光LED光源

• 掃描器： 閉環(huán)控制壓電陶瓷掃描器

• 探測(cè)器： 高分辨率CCD相機(jī)

• 標(biāo)準(zhǔn)物鏡： 多種倍率可選（如2.5倍，5倍，10倍，20倍，50倍等）

• 軟件分析功能： 包括粗糙度、臺(tái)階高、翹曲、體積、功率譜密度等分析模塊。

布魯克三維光學(xué)輪廓儀白光干涉原理